ALICAT 氣體質量流量控制器
美國ALICAT 21系列標準型質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。
可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。設備采用快速穩定的優質電磁閥以及優化的PID調校，可達到優于100 ms的控制速度，并保持極佳穩定性，并有超低壓損產品可供您選擇。
產品特色
● 數字化產品
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數控制，如體積流量、質量流量和壓力
● 標配三種控制方式：數字、模擬和本地面板
● 可選高精度：優于0.5%讀數
● 量程可控比寬，0.01~100%滿量程
● 響應時間快，優于30 ms
● 內置98種氣體
● 可現場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣
精度升級
量程為0.5 SCCM -6000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程（取最大值）
質量流量高精度 ± 0.5% 讀數或± 0.1% 滿量程（取最大值）
重復性 ±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程）
質量流量零點漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃（從25℃開始）
± 0.01%滿量程/ Atm（從校準壓力開始）
質量流量量程漂移 ± 0.01%讀數/ ℃（從25℃開始）
± 0.1 %讀數/ Atm（從校準壓力開始）
技術指標
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體，請參考氣體兼容表
一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量 程 從0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM
量程可控比（穩態） 0.01～100%滿量程
最大顯示流量 128 %滿量程
最大可控流量 102.4 %滿量程
屏幕刷新頻率 10Hz
數字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差
